毕业设计(论文)DB机器操作与维修.doc
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1、苏州工业园区职业技术学院毕业项目2011届项目类别: 毕业设计 项目名称:D/B机器操作与维修专业名称: 姓 名 : 学 号 : 班 级: 指导教师: 2011年 04 月25 日苏州工业园区职业技术学院毕业项目任务书(个人表)系部: 毕业项目类别:毕业论文毕业项目名称:D/B机器操作与维修指导教师1: 职称:讲师类别:专职指导老师2: 职称:工程师类别:专职学 生: 专业:应用电子班级:1、毕业项目的主要任务及目标任务:让大家了解到什么是D/B,D/B是干什么的,工作流程,还有当中经常发生的一些故障的原因及处理措施。目标: 完成一篇8000字左右的论文(图文混排A4 13页左右)2、毕业项目
2、的主要内容 (1)D/B机器的组成及主要功能 (2)D/B机器的工作原理 (3)D/B机器的一些故障和处理方法 3、主要参考文献(若不需要参考文献,可注明,但不要空白) 日月新半导体公司里的机器使用说明书 日月新员工操作手册4、进度安排毕业项目各阶段任务起止日期1选题 截至2011-3-192收集资料2011-3-202011-3-253. 论文攥写与修改2011-4-012011-4-204后期完善与答辩2011-5-012011-5-215最终完成2011-5-22诚 信 声 明本人郑重声明:所呈交的毕业项目报告/论文D/B机器操作与维修是本人在指导老师的指导下,独立研究、写作的成果。论文
3、中所引用他人发布的文字、研究成果,均在论文中以明确方式标明。本声明的法律结果由本人独自承担。 作者签名: 2010 年 04 月25日 摘 要本毕业项目是以苏州日月新半导体有限公司对生产流程进行了简单的介绍,并同时详细介绍了日月新的机器操作与维修,全面描述机器操作与维修的整个过程。关键词:机器的操作、机器的维修、Wafer、银胶、L/F、吸嘴、顶针目 录一、公司简介.6二、公司产品制作流程.7三、产品介绍.8(1)、银胶介绍.8(2)、银胶的更换时机.9(3)Substrate中文名称:基板.9(4)Wafer晶圆介绍.10四、机器的操作.12 (1)、机器的组成部分.12 (2)、ESEC2
4、008机器的使用方法.14 (3)、D/B操作注意事项.18 (4)、D/B作业时注意事项.19五、机器的维修.22 (1)、机器常见问题与处理方法.22 (2)、ESEC 2008的切换步骤.23 (3)、各机台的得与失.23六、设计小结.25七、致谢.26一、 公司简介日月新半导体(苏州)有限公司为恩智浦半导体集团(NXP)与日月光集团(ASE)于2007年合作投资的半导体封装测试厂。前身为飞利浦半导体(苏州)有限公司,于2002年登记成立,公司位于苏州工业园区苏虹西路188号,注册资本32300万美元。目前,公司着重致力于移动通信业务方面的半导体封装、测试。将来还会向其他领域拓展业务。日
5、月光集团成立于1984年,长期提供全球客户最佳的服务与最先进的技术。设立至今,专注于提供半导体客户完整之封装及测试服务,包括晶片测试程式开发、前段工程测试、基板设计与制造、晶圆针测、封装及成品测试的一元化服务。客户也可以透过日月光集团中的子公司环隆电气,获得完善的电子制造服务整体解决方案。自2003年起已超越Amkor成为了全球最大封测厂商,为全球第一大半导体封装制造、测试服务公司,拥有全球封装测试代工产业中最完整的供应链系统,全球员工超过32000人。恩智浦半导体是一家新的半导体公司(前身为飞利浦半导体),有五十年的历史,成立时间为2006年(前身为飞利浦公司的事业部之一)拥有50年以上的半
6、导体经验。总部位于荷兰-爱因霍芬。二、 公司产品制作流程 每个公司有每个公司的生产流程,下面就是我们公司从第一站一直到最后出货的流程。让大家简单的了解一下我们公司的生产流程。我们公司的生产流程主要包括前道工序和后道工序两大类。前道有研磨、晶圆粘贴、晶片切割、二光检查、晶粒粘贴、银胶烘烤、电浆清洗、焊线站、三光检查。后道有封胶、正印、稳定烘烤、植球、回焊、助焊剂清洗、去框成型、外观、包装、出货(直接返还给顾客流向封装厂进行测试)。我们D/B(Die Bonding 焊晶)是晶粒粘贴和银胶烘烤这一部分,就是把切割好的晶粒一颗一颗的通过银胶粘贴到基板上,然后进入烤箱烘烤,把银胶烤干。由于胶有几种分类
7、,有的胶要烤的时间长就用单独的大烤箱,还有的比较短,有的机台上连接快速烤箱的直接烤,有的机台没有的就在独立的快速烤箱那烤。完成后放入氮气柜。三、 产品介绍我们公司就D/B的材料主要分为两大类:直接材料和间接材料。下面介绍一下我们公司就我们这一站经常用到的一些材料。直接材料 间接材料 图1 Glue(银胶) 图2 Wafer(晶圆) 图3 Needle(顶针) 图4 Substrate(基板) 图5 Rubber tip(吸嘴)图6 Lead Frame(引线框架)(1)、银胶银胶(GLUE)的作用有:银浆具有良好的导电、导热性,起连接芯片和引线框架的作用;依据产品类别选择银胶型号:BGA296
8、 240 280大DIE:2025D, BGA296 240 280 小DIE:QMI536, BGA183/196:2000B,TSSOP HVQFN SO:QMI519,LGA :84-1;银胶的型号可以通过胶上的标签区分;银胶储存在-40度温度下,一般回温时间为2H才可上机使用,在线有效时间是2025D,QMI536,2000B 为24小时.QMI519为48小时,81-1为18小时; QMI536在上机前要用甩胶机在2000RPM下旋转60秒;2000B和QMI519银浆(导电胶): 用于实现芯片与钉架或基板粘结固定之物质,因含有导电之银成分,故俗称银浆;2025D和QMI536非导电
9、胶 :用于实现芯片与钉架或基板粘结固定之物质,因不含导电之成分,常用于叠die产品。2000BQMI5362025DQMI51984-1图7 银胶(2)、银胶更换时机银胶在用到安全值以下或达到使用寿命必须跟换,一般安全值为一管胶的十分之一,即容量为1CC左右(防止不小心把胶打通,导致生产出来不良品)2000B,2025D,QMI536有效期为24小时,QMI519有效期为48小时,以上有效期为新胶从冰箱里取出起开始计算,并包括银胶在室温中回温的2小时。(如果胶过期还没有跟换,胶就会变质会产生许多问题,例:出水不稳 塌胶 产品质量不稳定),当领出来的新胶中发现有气泡时,应退还给物料,并跟换一管新
10、胶。生产过程中如发现有滴胶现象,应及时检查是否是银胶里有气泡造成的,如果银胶里有气泡,应及时跟换新胶,自检合格后方能继续作业。(3)Substrate(基板)用于连接芯片与外部电路之载体 (印刷电路板),单颗产品BGA背面要植球多少球就是BGA多少,如BGA296要植296个球。基板料号焊垫Pad空晶图8 基板Leadframe (L/F) 中文名称:钉架 / 导线架用于连接芯片与外部电路之载体,单颗产品QFN上有多少个引脚就是QFN多少,如QFN40有40个引脚。正面焊晶区背面黄胶区焊垫Pad图9 L/FLead frame背面黄胶有粘性,上机前烘烤减少背面黄胶与轨道的摩擦;ead fram
11、e背面黄胶有气泡.上机前烘烤预防到mold有mold flash。(4)Wafer晶圆介绍 依wafer尺寸选取使用之cassette装载Wafer,注意 wafer的方向,储存在氮气柜里,氮气流量(510L/min);依流程卡核对焊线图,晶体代号,片数, 数量,晶体版号;每个Lot晶代取一片wafer在高倍显微镜下检查晶体是否有刮伤,沾污;目视100%检查wafer蓝胶有无气泡,蓝膜是否有切过的刀痕,晶体有无龟裂现象;上机前用气枪吹走 wafer表面外来物;Wafer 上机,确认参考点是否正确。Wafer吃完,检查是否有漏吃现象,并附Wafer废品die管制单。以上的介绍的几种材料是D/B最
12、常用的材料,同时也是最需要注意的。银胶就三种颜色2025D为红色 QMI536为白色其余的都为银灰色如果不小心弄错的话生产出来的全是废品。还有Wafer也不能用错,因为Wafer是客户提供的,用不完还要返还给客户,如果不小心用错了将会给公司带来很大的损失。还有基板,每个基板的版号都不一样的,在生产之前要注意基板的版号和流程卡上是否一样,因为许多人生产时只看一下基板的大小,不对它的版号的。每个基板的参数都不一样,也许样子看起来时一样的,但每一种基板的参数是不一样的,如果不小心那错了机器报警了还好,要是没做识别的话机器是不会报警的。那样打出来的产品也是废品,因为我们这一站做的还要往后面去,如果用错
13、基板那么下一站焊线站将打不上金线。所以必须要小心。四、机器的操作(1)、机器的组成部分下面图片就是我们公司最早的一种机器类型ESEC2008,同时也是我们刚刚去实习时接触最多的机台,这种类型的机台是那里面最简单的机台,也是最基础的。我们在公司里很长的一段时间都是让我们学习这样的机台。先学好这种类型的机台后才会教我们下一种类型的机台。Automatic Wafer(自动抓晶圆处) Mouse(鼠标)Output handler(出料处)Production Keyboard(生产键盘 )Input handler(进料处)Inspection Monitor(生产界面)Master Monito
14、r(菜单界面) 图10 ESEC2008机台下面的一张图片是我们公司比较常见的机器,性能方面ESEC2008要好许多,同时这种机器在半导体行业比较常见的机台,基于ESEC2008学会之后我们就开始学习这种在半导体行业比较常见的ASM838。键盘电源开关鼠标摇杆OUT PUT出料口排胶气压箱显示器报警显示灯 图11 ASM838机台下面的一张机器图片是我们公司目前性能最好最先进同时也是最昂贵的一种机器它也是ESEC牌子的是ESEC2008的升级版ESEC2100目前对于这种类型的机台我基本上是不会的,因为现在还没有让我接触这种类型的机台。Automatic Wafer(自动抓晶圆处)Produc
15、tion Keyboard(生产键盘 )移动DIE方向的旋杆紧急开关Mouse(鼠标)Output handler(出料处)Input handler(进料处)Master Monitor(菜单界面)图12 ESEC2100机台(2)、ESEC2008机器的使用方法下面介绍一下ESEC2008的使用方法,因为刚正式的走上工作岗位,还没有接触过半导体这个行业,所以刚去那还是学的比较多的是ESEC2008,其余的两种机型目前就学过ASM838(还不是很熟练),至于那种最先进的ESEC2100目前只知道一点皮毛。我对于现在学的最多的ESEC2008机台是最熟练的,下面介绍一下有关ESEC2008的一
16、些简单的操作。图13 ESEC2008第一菜单一直生产生产一颗die生产一条生产一盒轨道上的生产完生产一个Block生产一片wafer显示生产图14 ESEC2008第二菜单下面先说一下换胶的方法:一.换胶时机:寿命达到、胶快完时,胶有问题时,换产品更换胶种时。二.换胶步骤分为以下几步:按” run complete ”清出流道上的产品,把点胶针抬起:图15 ESEC2008第三菜单路径:setup Assist leadframe handler Tools dispenser park posglue去盖后装载在点胶模块上,如果有活塞浮起的现象,将针头紧密压在无尘布上后紧压活塞排出空气.装
17、胶后须排胶,确保点胶管內没气泡,点胶针顺畅:路径:setup Assist lead frame handler Tools Filling pressure排过胶后,把点胶针降下:路径:setup Assist lead frame handler Tools dispenser work pos把画胶针次数清零:路径:setup Assist warning counters reset dispenser测量点胶高度(点胶针到焊晶位置的高度):路径:Teach leadframe handler modules disponser learn Z LF打Dummy(性能不稳定的产品)把自
18、动改为手动:路径:setup Recipe optimize process dispenser process process modeFirst .proc.der.on Lf 设置从第几个Block开始生产Last .proc.der.on Lf 设置到第几个Block结束生产First .proc.pad.on dev 设置从第几颗开始生产Last .proc.pad.on dev 设置到第几颗结束生产图16 ESEC2008第三菜单打完dummy要自检:显微镜下检查晶体版号,方向,位置,晶体有无刮伤或沾污,基板料号,以及银胶出水是否良好,基板(框架)背面是否沾胶。斜视显微镜检查晶体偏
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