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18、干蚀刻简介,一干蚀刻的定义二干蚀刻的原理三干蚀刻的模式四干蚀刻设备结构五干蚀刻制程腔的构造,目录,一干蚀刻的定义,干蚀刻的定义:蚀刻,就是通过电浆Plasma蚀刻即干蚀刻或湿式化学蚀刻将显影后没有被光阻覆盖的薄膜去除,做出需要的线路图案;干。

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